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제품명 : MEC 시리즈
제조사 : Matsusada Precision
고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)
정전척 전원 공급 장치-리버시블 출력 모듈
출력 전압 : 0 to ±10kV
출력 전류 : 0 to 10mA
출력 전력 : 0 to 10W
가변 출력 모듈
Models
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Model
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Output | |
| Voltage [kV] | Current [mA] | |
| MEC-1R10 | 0 to ±1 | 10 |
| MEC-1.5R6.6 | 0 to ±1.5 | 6.6 |
| MEC-2R5 | 0 to ±2 | 5 |
| MEC-3R3.3 | 0 to ±3 | 3.3 |
| MEC-5R2 | 0 to ±5 | 2 |
| MEC-10R1 | 0 to ±10 | 1 |
정전 척 전원 공급 장치-리버시블 모듈 유형
MEC 시리즈는 정전 척 애플리케이션을 위해 특별히 개발 된 고전압 전원 공급 장치입니다. 콤팩트 한 모듈 유형으로 시스템에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 원격 제어에 의한 극성 변경으로 원활한 웨이퍼 이형이 가능합니다. 넓은 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형, Coulomb 유형 모두에 해당합니다. ± 1 kV ~ ± 10 kV.
특징 및 이점
- 정전기 척 애플리케이션을 위해 특별히 설계됨
- 극성 반전 기능으로 웨이퍼의 원활한 이형
- 원격 신호로 극성 변경 및 출력 전압 제어
- 출력 전압 및 전류 모니터
응용
정전기 척 (E-Chuck)
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