제품명 : AESS 시리즈 제조사 : Matsusada Precision고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)리플이 매우 낮은 SEM 및 반도체 용 전원 공급 장치

제품명 :  AESS 시리즈  제조사 : Matsusada Precision

고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)

리플이 매우 낮은 SEM 및 반도체 용 전원 공급 장치

 

출력 전압 : 30kV까지
출력 전류 : 0 ~ 6mA
출력 파워 : 0 ~ 30W
저온 계수 25ppm / ° C, SEM, E- 빔 및 FIB 애플리케이션 용, 초저 리플 2ppm 및 높은 안정성 10ppm / Hr

 

AESS 시리즈

 

Models

AESS Series (Ultra low ripple type)

Positive polarity output

Model	Output
	Voltage [kV]	Current [mA]	Ripple [mVp-p]
AESS-5P3	0 to 5	3	10
AESS-5P6		6	10
AESS-10P1.5	0 to 10	1.5	20
AESS-10P3		3	20
AESS-15P1	0 to 15	1	30
AESS-15P2		2	30
AESS-30P0.5	0 to 30	0.5	50
AESS-30P1		1	50

Negative polarity output

Model	Output
	Voltage [kV]	Current [mA]	Ripple [mVp-p]
AESS-5N3	0 to 5	3	10
AESS-5N6		6	10
AESS-10N1.5	0 to 10	1.5	20
AESS-10N3		3	20
AESS-15N1	0 to 15	1	30
AESS-15N2		2	30
AESS-30N0.5	0 to 30	0.5	50
AESS-30N1		1	50

 

SEM, 반도체 검사 시스템 전원 공급 장치

AES / AESS 시리즈는 매우 안정적인 출력이 필요한 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 리플 노이즈는 10mV (5kV 모델)만큼 작고 안정성도 최소입니다 (10ppm / Hr AESS 시리즈). 보다 편리한 작동을 위해 디지털 인터페이스가 장착되어 있습니다.

매우 깨끗한 출력으로 SEM 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다.
AES / AESS 시리즈는 정확한 출력이 필요한 다양한 고전압 애플리케이션에 대해 매우 안정적인 출력을 제공하는 고전압 전원 공급 장치입니다. 낮은 리플과 온도 계수는 매우 안정적인 출력 전압을 보장합니다. 4 자리 디지털 미터 및 디지털 인터페이스는 보다 정확한 모니터링 및 설정을 보장합니다.

 

응용

• SEM (주사 전자 현미경)
• CV SEM
• E- 빔 에칭
• FIB (집중된 이온 빔)
• AES (Auger 전자 분광법)

http://lifetech-instruments.com/sub/sub01_01.php?mode=view&cat_no=17&sk=&offset=&idx=979

라이프텍 인스트루먼트