제품명 : AESS 시리즈 제조사 : Matsusada Precision고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)리플이 매우 낮은 SEM 및 반도체 용 전원 공급 장치

제품명 : AESS 시리즈

제조사 : Matsusada Precision

고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)

리플이 매우 낮은 SEM 및 반도체 용 전원 공급 장치

 

출력 전압 : 30kV까지
출력 전류 : 0 ~ 6mA
출력 파워 : 0 ~ 30W
저온 계수 25ppm / ° C, SEM, E- 빔 및 FIB 애플리케이션 용, 초저 리플 2ppm 및 높은 안정성 10ppm / Hr

 

AESS 시리즈

 

Models

AES Series (Low ripple type)

Positive polarity output

Model	Output
	Voltage [kV]	Current [mA]	Ripple [mVp-p]
AES-5P3	0 to 5	3	100
AES-5P6		6	100
AES-10P1.5	0 to 10	1.5	200
AES-10P3		3	200
AES-15P1	0 to 15	1	300
AES-15P2		2	300
AES-30P0.5	0 to 30	0.5	500
AES-30P1		1	500

Negative polarity output

AESS Series (Ultra low ripple type)

Positive polarity output

Model	Output
	Voltage [kV]	Current [mA]	Ripple [mVp-p]
AESS-5P3	0 to 5	3	10
AESS-5P6		6	10
AESS-10P1.5	0 to 10	1.5	20
AESS-10P3		3	20
AESS-15P1	0 to 15	1	30
AESS-15P2		2	30
AESS-30P0.5	0 to 30	0.5	50
AESS-30P1		1	50

Negative polarity output

Model	Output
	Voltage [kV]	Current [mA]	Ripple [mVp-p]
AESS-5N3	0 to 5	3	10
AESS-5N6		6	10
AESS-10N1.5	0 to 10	1.5	20
AESS-10N3		3	20
AESS-15N1	0 to 15	1	30
AESS-15N2		2	30
AESS-30N0.5	0 to 30	0.5	50
AESS-30N1		1	50

 

SEM, 반도체 검사 시스템 전원 공급 장치

AESS 시리즈는 매우 안정적인 출력이 필요한 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 리플 노이즈는 10mV (5kV 모델)만큼 작고 안정성도 최소입니다 (10ppm / Hr AESS 시리즈). 보다 편리한 작동을 위해 디지털 인터페이스가 장착되어 있습니다.

매우 깨끗한 출력으로 SEM 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다.
AESS 시리즈는 정확한 출력이 필요한 다양한 고전압 애플리케이션에 대해 매우 안정적인 출력을 제공하는 고전압 전원 공급 장치입니다. 낮은 리플과 온도 계수는 매우 안정적인 출력 전압을 보장합니다. 4 자리 디지털 미터 및 디지털 인터페이스는 보다 정확한 모니터링 및 설정을 보장합니다.

 

응용

• SEM (주사 전자 현미경)
• CV SEM
• E- 빔 에칭
• FIB (집중된 이온 빔)
• AES (Auger 전자 분광법)

 

http://lifetech-instruments.com/sub/sub01_01.php?mode=view&cat_no=17&sk=&offset=&idx=979

라이프텍 인스트루먼트