제품명 : ECA 시리즈 제조사 : Matsusada Precision고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)듀얼 출력 빠른 응답 랙 마운트

제품명 : ECA 시리즈 

제조사 : Matsusada Precision

고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)

듀얼 출력 빠른 응답 랙 마운트

 

출력 전압 : 0 ~ ± 10kV
출력 전류 : 0 ~ 30mA
출력 파워 : 0 ~ 30W
빠른 응답, 높은 신뢰성 및 긴 수명

 

ECA 시리즈

 

Models

Model	Output		Channel	Input Current [A] (at 115 V) max
	Voltage [kV]	Current [mA]
ECA-1B6 x 2	0 to ±1	6	2ch	1
ECA-1B30 x 2	0 to ±1	30	2ch	3
ECA-3B2 x 2	0 to ±3	2	2ch	1
ECA-3B10 x 2	0 to ±3	10	2ch	3
ECA-5B1 x 2	0 to ±5	1	2ch	1
ECA-5B6 x 2	0 to ±5	6	2ch	3
ECA-10B1 x 2	0 to ±10	1	2ch	0.1
ECA-10B0.5	0 to ±10	0.5	1ch	1
ECA-10B3	0 to ±10	3	1ch	3

 

1ch / 2ch 출력, 랙 마운트 및 바이폴라 유형 ± 1kV ~ ± 10kV / 5W, 6W, 10W, 30W

ECA 시리즈는 정전 척 애플리케이션을 위해 특별히 개발 된 고전압 전원 공급 장치입니다. 웨이퍼는 DC ON / OFF로 고정하거나 해제 할 수 있습니다. 극성을 반대로하여 척을 부드럽게 분리 할 수도 있습니다. 유니 폴라 시스템 (2ch) 또는 바이폴라 시스템 모두에 적합한 유용한 전원 공급 장치입니다. 넓은 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형, Coulomb 유형 모두에 해당합니다. ± 1 kV ~ ± 10 kV.

특징 및 이점

• 정전기 척 적용을 위해 특별히 설계됨
• 2 개의 출력 채널
• 양극성 출력
• 내장 RF 필터를 사용할 수 있습니다. (option)
• 전자적 극성 변경으로 빠른 응답
• 릴레이를 사용하지 않으므로 높은 신뢰성과 긴 수명

 

http://lifetech-instruments.com/sub/sub01_01.php?mode=view&cat_no=25&sk=&offset=&idx=956

라이프텍 인스트루먼트

 

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