제품명 : EJC 시리즈 제조사 : Matsusada Precision고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)E-chuck HV 전원 공급 장치

제품명 : EJC 시리즈 

제조사 : Matsusada Precision

고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)

E-chuck HV 전원 공급 장치

 

출력 전압 : 0 ~ ± 5kV
출력 전류 : 0 ~ 30mA
출력 파워 : 0 ~ 30W
빠른 응답, 높은 신뢰성 및 긴 수명

 

 

Models

Model	Output
	Voltage [kV]	Current [mA]
EJC-1B6	-1 to +1	6
EJC-1B30		30
EJC-2B3	-2 to +2	3
EJC-2B15		15
EJC-3B2	-3 to +3	2
EJC-3B10		10
EJC-4B1.5	-4 to +4	1.5
EJC-4B7.5		7.5
EJC-5B1.2	-5 to +5	1.2
EJC-5B6		6

 

단일 채널, Handy Bipolar 유형 ± 1kV ~ ± 5kV / 6W, 30W

EJC 시리즈는 정전 척 애플리케이션을 위해 특별히 개발 된 고전압 전원 공급 장치입니다. DC ON / OFF로 척 ON / OFF가 가능합니다. 극성을 반대로하여 웨이퍼를 부드럽게 분리 할 수도 있습니다. ± 1kV ~ ± 5kV의 넓은 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형, Coulomb 유형 모두에 해당합니다.

특징 및 이점

• 정전기 척 애플리케이션을 위해 특별히 설계됨
• 전자 극성 변경으로 빠른 응답 (100ms)
• 양극성 출력
• 통합 RF 필터 (옵션)
• 릴레이가없는 긴 수명과 높은 신뢰성

주요 용도

• 정전기 척 (E-Chuck)

 

http://lifetech-instruments.com/sub/sub01_01.php?mode=view&cat_no=25&sk=&offset=&idx=947

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