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라이프텍 인스트루먼트
Matsusada 고전압 파워서플라이 (고전압 전원공급장치, High Voltage Power Supply)와 전압 증폭기 (Voltage Amplifier)를 소개하여 드립니다.
lifetech-instruments.com
제품명 : ECA 시리즈
제조사 : Matsusada Precision
고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)
듀얼 출력 빠른 응답 랙 마운트
출력 전압 : 0 ~ ± 10kV
출력 전류 : 0 ~ 30mA
출력 파워 : 0 ~ 30W
빠른 응답, 높은 신뢰성 및 긴 수명
Models
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Model
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Output |
Channel
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Input Current [A]
(at 115 V) max |
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| Voltage [kV] | Current [mA] | |||
| ECA-1B6 x 2 | 0 to ±1 | 6 | 2ch | 1 |
| ECA-1B30 x 2 | 0 to ±1 | 30 | 2ch | 3 |
| ECA-3B2 x 2 | 0 to ±3 | 2 | 2ch | 1 |
| ECA-3B10 x 2 | 0 to ±3 | 10 | 2ch | 3 |
| ECA-5B1 x 2 | 0 to ±5 | 1 | 2ch | 1 |
| ECA-5B6 x 2 | 0 to ±5 | 6 | 2ch | 3 |
| ECA-10B1 x 2 | 0 to ±10 | 1 | 2ch | 0.1 |
| ECA-10B0.5 | 0 to ±10 | 0.5 | 1ch | 1 |
| ECA-10B3 | 0 to ±10 | 3 | 1ch | 3 |
1ch / 2ch 출력, 랙 마운트 및 바이폴라 유형 ± 1kV ~ ± 10kV / 5W, 6W, 10W, 30W
ECA 시리즈는 정전 척 애플리케이션을 위해 특별히 개발 된 고전압 전원 공급 장치입니다. 웨이퍼는 DC ON / OFF로 고정하거나 해제 할 수 있습니다. 극성을 반대로하여 척을 부드럽게 분리 할 수도 있습니다. 유니 폴라 시스템 (2ch) 또는 바이폴라 시스템 모두에 적합한 유용한 전원 공급 장치입니다. 넓은 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형, Coulomb 유형 모두에 해당합니다. ± 1 kV ~ ± 10 kV.
특징 및 이점
- 정전기 척 적용을 위해 특별히 설계됨
- 2 개의 출력 채널
- 양극성 출력
- 내장 RF 필터를 사용할 수 있습니다. (option)
- 전자적 극성 변경으로 빠른 응답
- 릴레이를 사용하지 않으므로 높은 신뢰성과 긴 수명
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