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라이프텍 인스트루먼트
Matsusada 고전압 파워서플라이 (고전압 전원공급장치, High Voltage Power Supply)와 전압 증폭기 (Voltage Amplifier)를 소개하여 드립니다.
lifetech-instruments.com
제품명 : HECD 시리즈
제조사 : Matsusada Precision
고전압 직류전원공급기 (HVDC Power Supply)
E-chuck 고전압 전원 공급 장치
최대 전압: ±0.5 ~ ±7.5kV
최대 전류: 1~20mA
2채널 출력 타입
Half rack 사이즈의 컴팩트한 디자인
Models
| 모델 | 출력 | 출력 응답 속도 [typ] (－90%⇔+90%) |
|||
| 전압 최대 (각 채널) | 전류 (각 채널) | ||||
| HECD-0.5B20×2 | +500V, -500V | 20mA | 10ms | ||
| HECD-1B10×2 | +1kV, -1kV | 10mA | 10ms | ||
| HECD-1.5B6×2 | +1.5kV, -1.5kV | 6mA | 15ms | ||
| HECD-2B5×2 | +2kV, -2kV | 5mA | 20ms | ||
| HECD-4B1×2 | +4kV, -4kV | 1mA | 40ms | ||
| HECD-4B2.5×2 | +4kV, -4kV | 2.5mA | 40ms | ||
| HECD-5B2×2 | +5kV, -5kV | 2mA | 60ms | ||
| HECD-7.5B1.2×2 | +7.5kV, -7.5kV | 1.2mA | 90ms | ||
웨이퍼 센서 채택
HECD 시리즈는 정전기 척용 고전압 증폭기 전원 공급 장치입니다. 극성 전환 및 강제 접지 외에도 이 시리즈는 웨이퍼 감지 요구 사항을 충족하는 웨이퍼 모니터링 시스템을 제공합니다.
또한 넓은 범위의 전압으로 이 시리즈는 쿨롱 및 Johnsen-Rahbek 정전 척을 모두 지원할 수 있습니다.
기능 및 이점
- 웨이퍼 센서에 의한 신뢰성 척킹/릴리즈 상태 감지
- 증폭기 아키텍처 설계로 빠른 응답("무릴레이 극성 반전" 설계로 높은 신뢰성 및 긴 수명)
- 다양한 척/릴리스 작동을 위한 "2채널 독립 제어(옵션)" 및 "센터 탭 전압 설정(옵션)"
- LAN, USB, RS-232C의 디지털 인터페이스 탑재
- 저역 통과 RF 필터 내장(13.56MHz)
주요 응용 프로그램
- 정전척(E-Chuck)
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