택트 시간 및 공정 작업 시간의 상당한 감소
물체를 물고 놓는 시간을 줄이고 싶습니까?
1. 고속 응답 마쓰 사다 E-chuck 전원 공급 장치의 독자적인 기술로 전압을 빠르게 적용 할 수 있습니다. 척킹은 시간 지연없이 빠르고 부드럽습니다.
2.Matsusada E-chuck 전원 공급 장치는 고전압을 끄는 기능뿐만 아니라
방출시 정전 척, 웨이퍼 또는 유리 기판의 고전압을 강제로 감소시키는 기능도 있습니다.
※ 빠르고 부드러운 chucking과 release가 택트 타임 단축과 공정 작업 시간 단축에 크게 기여할 수 있습니다.
긴 수명과 높은 신뢰성의 디자인
고장이나 오작동으로 인해 추가 시간과 노동력이 발생합니까?
- ECA 및 EJC는 극성 반전에 릴레이를 사용하지 않습니다. 따라서 릴레이의 접점 수명에 영향을받지 않고 고장없이 장시간 사용할 수 있습니다.
- 옵션으로 제공되는 RF 필터는 오류 또는 오작동을 유발할 수있는 RF 노이즈로부터 전원 공급 장치를 보호합니다.
E-chuck 적용을위한 독특하고 유용한 기능
Matsusada E-chuck 전원 공급 장치의 설계는 바이폴라 E-chuck 용 2 채널 출력, 원하는 파형의 HV 출력, 극성 반전 가능, 강제 접지 또는 E-chuck과 전원 공급 장치를 분리하는 릴레이와 같은 다양한 기능을 가지고 있으며 E-chuck 애플리케이션에 필요한 기능. 사용자가 원하는 로직에 맞는 제어가 가능합니다.
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